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盟立自动化科技上海有限公司

晶圆卡匣取放系

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产品介绍

适用范围：
．晶圆生产
．太阳能
．LED

制程：
．入料/出库
．制程取放
．品保检验

优点：
．高洁净度避免人工操作污染
．高荷重避免人工操作风险, 计算机作业料帐清楚, 上下游数据传送精确

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